Powłoki polimerowe nanoszone metodą Pulsacyjnej Ablacji elektronowej

W badaniu osadzono powłoki z politetrafluoroetylenu (teflonu na krzemowym podłożu w procesie pulsacyjnego osadzania wiązki elektronów –PED. Osadzanie powłok polimerowych za pomocą PED jest stosunkowo nieznaną techniką. Ze względu na ograniczoną wiedzę na temat zastosowania tej techniki do osadzania powłok polimerowych przeprowadzone badania miały charakter eksploracyjny. Osadzanie powłok z politetrafluoroetylenu przeprowadzono w 24 °C przy różnych ciśnieniach w zakresie 1 -11 mTorr i różnych wartościach napięć. Osadzanie powłok miało miejsce w obecności argonu i azotu. Mikroskop optyczny zastosowano do oceny powierzchni powłok po teście przyczepności. Ocenę przyczepności powłok i wstępną ocenę ich właściwości mechanicznych przeprowadzono za pomocą Nano Twardościomierza. Wykazano wpływ parametrów osadzania na ich właściwości mechaniczne jednak jednoznaczna interpretacja wyników nie była możliwa ze względu na losowy charakter badań.