NiSi2 KREMNIY NITRIDI NANOFILMNING XUSUSIYATLARI

Ushbu monografiyada Si yuza va yuzaosti qatlamlarida nanoo‘lchamli MeSi2 strukturalarining hosil bo‘lish mexanizmlarini aniqlash va ularni olish, shuningdek, ularning tarkibi, tuzilishi va fizik xususiyatlarini aniqlashga katta e'tibor qaratilmoqda. Plyonkali materiallarning elektronika sohasida ishlatilishida eng asosiy o‘rinni epitaksial plyonkalar egallaydi. Bunday plyonkalarning xususiyatlarini o‘rganishning qiziqarliligi va ahamiyati shundaki plyonkalar katta va o‘ta katta integral sxemalar ishlab chiqarishda, lazer asboblarini yaratishda, yuqori va o‘ta yuqori chastotali rezonatorlar, quyosh elementlari olishda, umuman eng zamonaviy va eng noyob mikroelektron asboblar ishlab chiqarishda alohida rol o‘ynaydi. U kelajak elektronikasi, ya'ni nanoelektronikaning ham asosini tashkil etadi.